страница 1 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Похожие работы
|
Ооо «Евротек Дженерал» эксклюзивный представитель компании - страница №1/1
![]() ООО «Евротек Дженерал» эксклюзивный представитель компании Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
![]() ![]() 3-х координатная пьезоплатформа P-363 PicoCube™ ![]() немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером. Использование ёмкостных датчиков в системе обратной связи даёт целый ряд преимуществ:
Резонансная частота платформы достигает 9.8 кГц при движении вдоль Z координаты и более 3 кГц при движении вдоль X и Y направлений. Для обеспечения высокой стабильности и снижения инерции корпус платформы P-363 выполнен из титана. Для обеспечения высоких динамических характеристик управление нанопозиционером P-363 осуществляется с помощью цифрового контроллера E-725.3CM. Для обеспечения высокого разрешения целесообразно использовать контроллер E-536 серии PicoCubetm. По требованию заказчика существует возможность изготовления пьезоплатформы для эксплуатации в условиях вакуума. Некоторые возможные области применения:
![]() Внешний вид пьезоплатформы серии PicoCubetm Трёхкоординатные пьезоплатформы серии P-363 представляют собой компактные системы с обратной связью для задач позиционирования в диапазоне до 6 мкм с точностью до 0.03 нм. Данные пьезоплатформы представлены двумя моделями: P-363.3CD для трёхкоординатного позиционирования и P-363.2CD для перемещения в плоскости XY. Благодаря низкой инерции при движении и высокоскоростному пьезосканеру с бесконтактными ёмкостными датчиками платформы P-363 идеально подходят для задач нанопозиционирования во многих областях науки и промышленности. Небольшие габаритные размеры (30 х 30 х 40 мм (XYZ версия) и 30 х 30 х 28 мм (XY версия)) позволяют легко встраивать данные устройства во многие установки. В пьезоплатформе P-363 нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk), Адрес: 115114, г.Москва, Павелецкая наб., д.8 стр.6, офис 401; Email: info@eurotek-g.com Сайт: www.eurotek-general.com; Tел./факс: +7(495)600-40-84 Технические характеристики
*с контроллером E-536.3xH **данная величина указана в случае перемещения вдоль оси Z на 10% от общего диапазона. Для случая перемещения на 5 мкм она составляет 50 нм ***модель P-363.xCL с LEMO разъёмами ![]() ![]() Габаритный чертёж модели P-363.2Cx Габаритный чертёж модели P-363.3Cx ![]() Координата, нм. Время, сек. График перемещения платформы P-363. Положение платформы измерено с помощью ёмкостного датчика ![]() Координата, мкм. Время, мс. Время стабилизации платформы P-363 (шаг 100 нм в X,Y направлении). |