Ооо «Евротек Дженерал» эксклюзивный представитель компании - shikardos.ru o_O
Главная
Поиск по ключевым словам:
страница 1
Похожие работы
Ооо «Евротек Дженерал» эксклюзивный представитель компании - страница №1/1


ООО «Евротек Дженерал» эксклюзивный представитель компании

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG

Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG





3-х координатная пьезоплатформа P-363 PicoCube™
http://www.physikinstrumente.com/en/images/logo.gif


немедленно детектируется, и компенсируется при помощи обратной связи с сервоконтроллером.

Использование ёмкостных датчиков в системе обратной связи даёт целый ряд преимуществ:




  • Бесконтактность измерения

  • Высокая линейность

  • Высокая воспроизводимость

  • Высокая стабильность

Резонансная частота платформы достигает 9.8 кГц при движении вдоль Z координаты и более 3 кГц при движении вдоль X и Y направлений.

Для обеспечения высокой стабильности и снижения инерции корпус платформы P-363 выполнен из титана.

Для обеспечения высоких динамических характеристик управление нанопозиционером P-363 осуществляется с помощью цифрового контроллера E-725.3CM.

Для обеспечения высокого разрешения целесообразно использовать контроллер E-536 серии PicoCubetm.

По требованию заказчика существует возможность изготовления пьезоплатформы для эксплуатации в условиях вакуума.



Некоторые возможные области применения:

  • Сканирующая микроскопия (АФМ, СТМ, СЭМ,…)

  • Биотехнология

  • Нанопозиционирование

  • Нанопечать

  • Нанолитография

  • Нанометрология



p-363.2cd and .3cd (background) picocube™, high-performance piezo positioning- and scanning systems or afm/stm and nanomanipulation. smart media card for size comparison



Внешний вид пьезоплатформы серии PicoCubetm



Трёхкоординатные пьезоплатформы серии P-363 представляют собой компактные системы с обратной связью для задач позиционирования в диапазоне до 6 мкм с точностью до 0.03 нм.

Данные пьезоплатформы представлены двумя моделями: P-363.3CD для трёхкоординатного позиционирования и P-363.2CD для перемещения в плоскости XY.

Благодаря низкой инерции при движении и высокоскоростному пьезосканеру с бесконтактными ёмкостными датчиками платформы P-363 идеально подходят для задач нанопозиционирования во многих областях науки и промышленности. Небольшие габаритные размеры (30 х 30 х 40 мм (XYZ версия) и 30 х 30 х 28 мм (XY версия)) позволяют легко встраивать данные устройства во многие установки.

В пьезоплатформе P-363 нежелательное перемещение, вызванное одним из актуаторов в направлении действия другого (crosstalk),








Адрес: 115114, г.Москва, Павелецкая наб., д.8 стр.6, офис 401;

Email: info@eurotek-g.com Сайт: www.eurotek-general.com;

Tел./факс: +7(495)600-40-84



Технические характеристики

Характеристика/модель

P-363.3CD

P-363.2CD

Единица измерения

Направления перемещения

X,Y,Z

X,Y




Тип встроенного датчика

ёмкостный

ёмкостный




Диапазон перемещения без обратной связи вдоль осей X,Y (-250 … +250 В)

± 3

± 3

мкм

Диапазон перемещения без обратной связи вдоль оси Z (-250 … +250 В)

± 2.7

-

мкм

Диапазон перемещений с обратной связью вдоль осей X,Y

± 2.5

± 2.5




Диапазон перемещений с обратной связью вдоль оси Z

± 2.5

-

мкм

Разрешение без обратной связи

0.03*

0.03*

нм

Разрешение с обратной связью

0.1

0.1

нм

Нелинейность

0.05

0.05

%

Точность повторного позиционирования

1**

1**

нм

Отклонение вокруг поперечной/продольной оси (Pitch/Yaw) при движении по осям X,Y

0.5

0.5

мкрад

Отклонение вокруг осей X и Y (Runout)при движении вдоль оси Z

0.2

-

мкрад

Абсолютное значение отклонения вокруг оси Z (Straightness)

3

3

нм

Абсолютное значение отклонения вокруг оси Y (Flatness)

< 10

< 10

нм

Погрешность перемещения, связанная со взаимным влиянием параметров Straightness и Flatness (Crosstalk)

5

-

нм

Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль осей X,Y

3.1

4.2

кГц

Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль оси Z

9.8

-

кГц

Резонансная частота с нагрузкой в 20 г при движении вдоль осей X,Y

1.5

2.1

кГц

Максимальная нагрузка

10

10

Н

Тип пьезокерамики

PICAtm

PICAtm




Диапазон рабочих температур

от -20 до +80

от -20 до +80

0С

Материал корпуса

титан

титан




Габариты

30х30х40

30х30х28

мм

Масса

225

190

г

Длина кабеля

1.5

1.5

м

Тип разъёма для сигнального кабеля/датчика***

Sub-D

Sub-D




Рекомендуемый контроллер

Е-536

Е-536




*с контроллером E-536.3xH

**данная величина указана в случае перемещения вдоль оси Z на 10% от общего диапазона. Для случая перемещения на 5 мкм она составляет 50 нм



***модель P-363.xCL с LEMO разъёмами

p-363.3cx dimensions in mm. removable top plate

p-363.2cx dimensions in mm. removable top plate


Габаритный чертёж модели P-363.2Cx

Габаритный чертёж модели P-363.3Cx





Координата, нм.



Время, сек.



График перемещения платформы P-363. Положение платформы измерено с помощью ёмкостного датчика





Координата, мкм.



Время, мс.



Время стабилизации платформы P-363 (шаг 100 нм в X,Y направлении).